PI （Physik Instrumente）線性促動器

PI (Physik Instrumente)線性促動器原廠供貨

長行程納米定位，具有高力，PiezoWalk原理

應用領域

?工業級精度定位

?半導體技術

?半導體測試

?晶圓檢測

?平版印刷術

?納米壓印

?納米測量

?強磁場和真空中運動

采用PiezoWalk步進驅動實現納米精度和大進給力

數個壓電陶瓷促動器在

PiezoWalk步進驅動中執行步進運動，將動輪向前推進。促動器控制允許以遠低于一納米的分

辨率進行小步進和推進運動。

增量

編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學

編碼器以*的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

適用于復雜真空應用PI的壓電電機原則上是真空兼容的，并且適合在強磁場中運行。驅動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進驅動器還可用于有較強紫外線輻射的無塵室或環境中。

規格

N-216.101 / N

-216.1A1N

-216.201 / N

-216.2A1

公差N-216NEXLINE

線性促動器

?力量生成達600牛

?保持力達800牛

?行程20毫米

?帶分辨率的集成式直接測量線性編碼器5納米

訂購信息

Physik Instrumente (PI)N-216.101

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，300牛，開環

Physik Instrumente (PI)N-216.1A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，300牛，線性編碼器，5納米分辨率

Physik Instrumente (PI)N-216.201

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，600牛，開環

Physik Instrumente (PI)N-216.2A1

NEXLINE壓電陶瓷步進高負載促動器，20毫米，600牛，線性編碼器，5納米分辨率

PI (Physik Instrumente)線性促動器原廠供貨